PEV et MOCVD Les composants en graphite et les matériaux d'isolation d'EPI et MOCVDSIAMC sont largement utilisés dans les équipements épitaxiaux à semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés thermiques et mécaniques.Dans les processus de croissance épitaxiale, du graphite de haute pureté est utilisé pour les composants du réacteur à paroi chaude tels que le réchauffeur, le suscepteur,
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