Implantation ionique et gravure au plasma

Les produits en graphite de SIAMC sont largement utilisés dans les équipements d'implantation ionique et de gravure au plasma en raison de leur excellente résistance à la chaleur, de leur conductivité thermique, de leur faible teneur en impuretés et de leur résistance à la corrosion par les faisceaux d'ions.

Dans l'implantation ionique, le graphite de haute pureté est utilisé dans les tubes de vol, diverses fentes, électrodes, couvercles d'électrodes, conduits et terminateurs de faisceau.Ces composants doivent résister à la corrosion provoquée par les faisceaux d’ions.

Lors de la gravure au plasma, les composants de la chambre de réaction plasma sont exposés au gaz de gravure, ce qui peut provoquer une contamination et une corrosion.Cependant, le graphite résiste à la corrosion dans des conditions de travail extrêmes telles que le bombardement ionique ou le plasma, ce qui en fait un matériau idéal pour les composants d'équipements de gravure au plasma, tels que les électrodes en graphite.

Les produits en graphite de haute qualité de SIAMC offrent d'excellentes performances et fiabilité pour les équipements d'implantation ionique et de gravure au plasma, garantissant ainsi la qualité et l'efficacité du traitement des semi-conducteurs.