PEV et MOCVD

Les composants en graphite et les matériaux d'isolation de SIAMC sont largement utilisés dans les équipements épitaxiaux à semi-conducteurs en raison de leurs excellentes propriétés thermiques et mécaniques.Dans les processus de croissance épitaxiale, du graphite de haute pureté est utilisé pour les composants du réacteur à paroi chaude tels que le réchauffeur, le suscepteur, l'injecteur de gaz et la plaque de distribution de gaz.La faible teneur en impuretés des produits en graphite de SIAMC garantit une pureté élevée du processus et réduit la génération de particules lors du traitement à haute température.

De plus, les matériaux d'isolation de SIAMC sont utilisés pour l'isolation et la conservation de la chaleur dans les équipements épitaxiaux afin de maintenir une température de processus élevée et de réduire les pertes de chaleur.Ces matériaux ont d'excellentes propriétés d'isolation thermique et une résistance aux températures élevées, garantissant un fonctionnement stable et efficace de l'équipement.

Dans l'ensemble, les composants en graphite et les matériaux d'isolation de SIAMC jouent un rôle essentiel pour garantir la qualité et le rendement des processus de croissance épitaxiale, ce qui les rend essentiels à la fabrication de semi-conducteurs.